在納米科技與精密制造領域，環境振動已成為制約高精度設備性能的核心瓶頸。Herz
電鏡防振臺憑借其突破性的主動隔振技術，以毫秒級響應速度與全頻段振動抑制能力，成為全球頂尖實驗室保障設備穩定性的選擇方案。
1.核心性能：六自由度全頻段隔振
電鏡防振臺采用主被動復合隔振架構，其主動隔振系統覆蓋1-200Hz頻段，被動隔振系統則針對200Hz以上高頻振動實現深度衰減。通過內置的壓電加速度傳感器與壓電換能器，系統可實時捕捉六個空間方向的振動信號，并在5-20毫秒內生成反向補償力，消除振動干擾。
2.技術突破：無低頻共振與零氣壓依賴
傳統被動隔振系統在低頻段（<10Hz）易產生共振峰，而Herz通過閉環反饋控制技術，將系統機械共振頻率抑制至可忽略水平。其模塊化設計無需氣壓支持，避免了氣源波動對隔振性能的影響，同時功耗僅27W，較同類產品降低40%。在原子力顯微鏡（AFM）測試中，Herz防振臺將探針掃描噪聲從3nm降至0.5nm，使納米級表面形貌測量精度達到原子級。
3.場景適配：從實驗室到工業產線
Herz提供AVI-200/400/600三大系列，覆蓋300kg-1200kg負載需求，并支持桌面式與落地式雙重安裝模式。在半導體光刻機應用中，AVI-600防振臺將掩模版定位誤差從±15nm降至±3nm，使28nm制程良率提升12%。其模塊化擴展設計允許用戶根據設備尺寸自由組合隔振單元，某生物實驗室通過拼接4臺AVI-400模塊，成功為冷凍電鏡搭建了12m²的超穩工作平臺。
4.長期價值：穩定運行與智能監控
電鏡防振臺采用航空級鋁合金框架與磁性不銹鋼蜂窩面板，靜態柔度垂直方向僅1μm/N，水平方向2μm/N，確保設備長期承重不變形。系統內置的多路復用信號輸出功能，可實時監測各維度振動衰減效果，某材料實驗室通過示波器數據發現，安裝防振臺后，環境振動對電子背散射衍射（EBSD）分析的影響從±2%降至±0.3%。
5.電鏡防振臺系列外觀示意圖
從掃描電鏡到原子力顯微鏡，從光刻機到白光干涉儀，電鏡防振臺以毫秒級響應、全頻段覆蓋與智能監控能力，重新定義了精密儀器環境控制的標準。其技術突破不僅為納米科技提供了穩定的研究平臺，更成為推動工業4.0時代高精度制造的關鍵基礎設施。
